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技术与产品

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等离子体改性技术

针对电子材料及器件的表界面科学与工程问题,团队自主开发出国产化的等离子体加工装备平台和加工技术,并拥有多项发明专利,已实现特种电子材料及器件的表界面改性加工,显著提高其终端应用性能。

等离子体技术是利用惰性气体等作为放电气体,在高压下产生具有物理轰击和化学活性的等离子体,对材料表界面进行改性的一种高效加工技术。在电子信息领域,等离子体技术已成为生产制造过程中的重要工序。

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团队与多家业内企业合作,开展等离子体相关技术和产品的国产化开发。目前,等离子体相关技术已达到GJB标准要求,并获得中国国际高新技术成果交易会优秀产品奖。